AFM-IR(nanoIRスペクトロメトリー)新機能開発のお知らせ
NanoIR2(AFM-IR)局所赤外分光分析システムに新機能が開発され
空間分解能が格段に向上しました。
・タッピングIR吸収イメージ機能
非常にソフトな試料でも測定可能になります。
空間分解能が10nm程度に向上します。
・ファーストスペクトラ機能
高速スキャンスピードでスペクトルを取得できます。(数秒)
空間分解能が向上します。
 

タッピングIRイメージ


(PS/PMMA コポリマー)
 

ファーストスペクトラ


(シリコンウェハー上 30nmコンタミ分析)
 
5月に本件に関するセミナー及びワークショップを開催します。
スケジュールは近日中に案内申し上げます。
 

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