高分解能タッピングAFM-IR測定モード
-nanoIR スペクトロスコピーシステム -
空間分解能が10nm以下を実現しました
 
2種スマートフォン表面ガラス比較テスト
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高速チューナブルパルスレーザーが、AFMカンチレバーチップ先端と試料表面の接触箇所に照射されて、試料が特定波数領域で光を吸収した時、瞬間的に試料の熱膨張が起こる。

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瞬間熱膨張がカンチレバーを刺激し、カンチレバー振動の振幅が変化する。
レーザーパルスを連続的に波数を変えて照射することにより、特定波数におけるカンチレバーの振幅が変化し、振幅の大きさがIR吸収度に相関する。又、カンチレバーの共鳴信号変化を検知しているため高感度測定が可能になる。

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連続レーザーパルス照射によりカンチレバーの振幅が変化し、振幅信号ピークトップ連続線がIRスペクトルとして表される。

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タッピングAFM-IR測定モードにより空間分解能10nm以下の化学特性イメージが得られる。

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AFM-IR測定でトポグラフ(AFM高さ像)、化学特性(IR吸収像)及び機械特性(硬さ像)の3種データが同時に得られる。

 

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