AFM-IR　nanoIR2-FS（ファーストスペクトラ） | 株式会社日本サーマル・コンサルティング

米国アナシスインスツルメント社

米国ナノビア社

独国リンザイス社

タッピングAFM-IR　nanoIR2-FSシステムはAFMとパルスチューナブルレーザーの融合で10nm以下の空間分解能で赤外スペクトル、赤外吸収マップ、表面硬さ像を高速スキャンモードにより非常に短時間（スペクトル：数秒、3種マッピング：5分）で測定します。

	高速チューナブルパルスレーザーが、AFMカンチレバーチップ先端と試料表面の接触箇所に照射されて、試料が特定波数領域で光を吸収した時、瞬間的に試料の熱膨張が起こる。
	瞬間熱膨張がカンチレバーを刺激し、カンチレバー振動の振幅が変化する。レーザーパルスを連続的に波数を変えて照射することにより、特定波数におけるカンチレバーの振幅が変化し、振幅の大きさがIR吸収度に相関する。又、カンチレバーの共鳴信号変化を検知しているため高感度測定が可能になる。
	連続レーザーパルス照射によりカンチレバーの振幅が変化し、振幅信号ピークトップ連続線がIRスペクトルとして表される。
	タッピングAFM-IR測定モードにより空間分解能10nm以下の化学特性イメージが得られる。
	AFM-IR測定でトポグラフ（AFM高さ像）、化学特性（IR吸収像）及び機械特性（硬さ像）の3種データが同時に得られる。