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  米国アナシスインスツルメント社

米国アナシスインスツルメント社

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AFM-IR nanoIR2-FS(ファーストスペクトラ)

タッピングAFM-IR nanoIR2-FSシステムはAFMとパルスチューナブルレーザーの融合で10nm以下の空間分解能で赤外スペクトル、赤外吸収マップ、表面硬さ像を高速スキャンモードにより非常に短時間(スペクトル:数秒、3種マッピング:5分)で測定します。

ナノスケールマルチ測定項目 空間分解能10nm以下を実現

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高速チューナブルパルスレーザーが、AFMカンチレバーチップ先端と試料表面の接触箇所に照射されて、試料が特定波数領域で光を吸収した時、瞬間的に試料の熱膨張が起こる。

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瞬間熱膨張がカンチレバーを刺激し、カンチレバー振動の振幅が変化する。
レーザーパルスを連続的に波数を変えて照射することにより、特定波数におけるカンチレバーの振幅が変化し、振幅の大きさがIR吸収度に相関する。又、カンチレバーの共鳴信号変化を検知しているため高感度測定が可能になる。

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連続レーザーパルス照射によりカンチレバーの振幅が変化し、振幅信号ピークトップ連続線がIRスペクトルとして表される。

4

タッピングAFM-IR測定モードにより空間分解能10nm以下の化学特性イメージが得られる。

5

AFM-IR測定でトポグラフ(AFM高さ像)、化学特性(IR吸収像)及び機械特性(硬さ像)の3種データが同時に得られる。

主な特徴

タッピングAFM-IR 高分解能イメージング


タッピングAFM-IRマッピングとスペクトル


ファーストスペクトラモード高速測定(エンハンスドOPOレーザー)


ファーストスペクトラマッピングモード高速測定


各種アクセサリー


 

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